TM3030 型掃描電子顯微鏡一、用途Hitachi TM3030型掃描電子顯微鏡(SEM)向來被廣泛用于生物、材料、化學(xué)、物理等各種不同領(lǐng)域的表面觀察和分析。但是由于SEM的局限性,使用者需要花費(fèi)大量時(shí)間在樣品制備和電鏡的操作上。為此,日立在原有的,已受到廣泛好評的TM-1000的技術(shù)上,精益求精,研發(fā)出結(jié)構(gòu)更緊湊、功能更齊備、操作更簡便的TM-3000臺式掃描電子顯微鏡。通過簡單的操作,即可達(dá)到觀察微觀世界的目的。二、技術(shù)規(guī)格項(xiàng) 目內(nèi) 容放大倍率15X~30,000X(數(shù)字放大:2X、4X)觀察模式標(biāo)準(zhǔn)模式、減輕荷電模式、大束流分析模式圖像模式形貌像、成份像、陰影像1、陰影像2、凹凸像電子光學(xué)系統(tǒng)電子槍預(yù)對中發(fā)夾型鎢燈絲加速電壓5kV、15kV 、EDX透鏡系統(tǒng)3級電磁式透鏡會聚系統(tǒng)電位移±50μm (WD=4.5mm、觀察條件:標(biāo)準(zhǔn)模式)能譜分析位置WD=10mm, TOA=35°樣品臺樣品臺控制2軸手動樣品臺樣品可移動范圍X:±17.5mm、Y:±17.5mm*大樣品尺寸直徑70mm*大樣品厚度50mm檢測器高靈敏4分割半導(dǎo)體背散射電子檢測器真空系統(tǒng)自動控制系統(tǒng)全自動氣動閥控制系統(tǒng)*高真空度1.5×10-5Pa可變真空度6~270Pa(22steps)渦輪分子泵30L/s 1臺隔膜泵1m3/h 1臺真空計(jì)1臺自動功能自動燈絲飽和已配備自動電子束設(shè)定已配備自動電子槍對中已配備自動合軸已配備自動聚焦、消像散已配備自動亮度、對比度已配備自動保護(hù)功能帶有過電流保護(hù)功能、漏電遮斷器計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)操作系統(tǒng)Microsoft Windows? 7CPUIntel? CoreTM2 Duo P8700(或與其兼容的PC)內(nèi)存容量2GB以上接口與端子USB2.0接口(2個(gè))、網(wǎng)路接口(以太網(wǎng))觀察15.4英寸LCD;屏幕分辨率1280×800像素控制鼠標(biāo)、鍵盤掃描速度TV掃描640×480象素顯示,25幀/秒快速掃描全屏顯示,6.3幀/秒慢速掃描全屏顯示,1/4/20/40/80秒/幀640×480像素顯示,0.5/2/10/20/40秒/幀圖像數(shù)據(jù)存儲圖像存儲像素640 × 480、1,280 × 960像素圖像數(shù)據(jù)保存PC帶硬盤及其他記錄媒體圖像存儲格式BMP、TIFF、JPEG圖像信息微標(biāo)尺、微值、放大倍率、日期、時(shí)間、圖像編號、注釋、觀察條件、觀察模式、圖像模式、工作距離輔助功能圖像旋轉(zhuǎn)、簡單測量、三維動畫維護(hù)指南使用環(huán)境室溫15°C ~30°C相對濕度40%~70%電源單相AC100~240V(*低90V、*高250V) 50/60Hz、3P插座地線D類接地,電阻小于100Ω體積與重量主機(jī)330(長)×606(寬)×565(高)mm、63.0Kg(manual stage)330(長)×630(寬)×565(高)mm、66.0Kg(motor drive stage)隔膜泵145(長)×256(寬)×217(高)mm、4.5Kg
U1510掃描電子顯微鏡一、用途SU1510掃描電子顯微鏡主機(jī)寬度僅為55cm體型小巧,具有3.0nm分辨率的高性能可變壓力掃描電鏡。特點(diǎn) 1. 儀器主體比過去減小20%,可以更加自由地選擇安裝場地。 2. 標(biāo)配低真空功能,可以對不導(dǎo)電進(jìn)行無噴涂觀察。高低真空轉(zhuǎn)換一鍵完成。 3. 可載入*大直徑153mm,高度為60mm(WD=15mm)的樣品,并進(jìn)行元素分析?! ?. 強(qiáng)大的鼠標(biāo)控制功能,可實(shí)現(xiàn)電鏡的所有操作?! ?. 分子泵真空系統(tǒng),潔凈無污染。二、技術(shù)規(guī)格項(xiàng)目內(nèi)容二次電子分辨率3.0nm(高真空,30kV)背散射電子分辨率4.0nm(低真空:6Pa,30kV)倍率5~300,000X加速電圧0.3~30 kV樣品臺 X 0~80 mm Y 0~40 mm; Z 5~50 mm; T -20°~ 90°; R 360° 樣品臺控制手動(可選:2軸馬達(dá))*大載入樣品尺寸直徑:153 mm*大觀察范圍直徑:126 mm(XYR并用)*大樣品高度60 mm(WD=15 mm)低真空范圍6-270Pa(從菜單設(shè)定)燈絲預(yù)對中鎢燈絲物鏡光闌4孔可變光闌槍偏壓固定比例偏壓、手動偏壓和自動4偏壓檢測器二次電子檢測器,高靈敏度半導(dǎo)體背散射電子檢測器EDX分析位置WD=15,TOA=35°真空系統(tǒng)分子泵1臺,機(jī)械泵1臺安全措施停電,漏電,自動保護(hù)